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電子工業用氣體氬技術指標 GB/T 16945-1997


裝車輸送機 項目 指標 氬純度,10生產線-2,≥ 99.9992 絞龍輸送機 氫含量,10不銹鋼螺旋輸送機-6,≤ 1微型螺旋喂料機 氮含量,10-小型碎石機6,≤ 5 氧含量,破碎機10直排篩-6,≤ 0.5 一氧化碳和二氧化碳含量振動篩粉機,10-沖擊式破碎機6,≤ 0.5 總烴(以甲烷計)含TZD系列臥式振動電機量,10大傾角波形擋邊輸送機-6,≤ 電機振動0.5 水分含量,10移動帶式輸送機-6,≤ 0.5 顆粒 供需雙方商波狀擋邊輸送帶定   試驗方法: 1 氫和氮含量的測定:
1.1 方法:采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定氬中的氫和氮。
1.2 檢測限:氫0.1×10-6(V/V);氮0.5×10-6(V/V)
1.3 儀器參數
1.3.1 色譜柱:將色譜分析用粒度為0.25~0.40mm的5A分子篩裝入內徑4mm,長約3m的不銹鋼管內,于300℃通氬氣活化3h。或采用等效色譜柱。
1.3.2 載氣:約30mL/min氦氣,氦氣中雜質含量比待測組分含量低一個數量級。
1.3.3 樣品體積:1.0~3.0mL。
1.3.4 溫度:檢測器及柱加熱箱均為室溫。
1.3.5 標樣:含1~5×10-6(V/V)氫的氬,含5~25×10-6(V/V)氮的氬。
1.4 操作步驟
1.4.1 用氣體進樣閥進標樣。
1.4.2 用同樣方法進待測樣品。
1.4.3 重復上述兩條,取兩次平行測定結果的算術平均值為測定結果,單個值與平均值的相對偏差不得大于10%。
1.4.4 比較標樣峰和試樣峰的平均面積,用下式分別計算氫和氮的含量,其結果不得超過本標準的上表規定值。
    φi=(φs-Ai)/As
    式中:φi--樣品氣中的待測組分i的含量,10-6(V/V);
       φs--標準氣中的組分i的含量,10-6(V/V);
       Ai--樣品氣組分i的峰面積,mm2(V/V);
       As--標樣氣組分i的峰面積,mm2(V/V);
       當半峰寬不變時可用峰高定量。 2 氧含量的測定
  按GB/T6285執行。
  儀器檢測限:0.1×10-6(V/V)。
  標樣:氬中含氧1×10-6~5×10-6(V/V)。 3 一氧化碳和二氧化碳含量的測定
  按GB/T8984.1執行。
  儀器檢測限:0.1×10-6(V/V)。
  標樣:氬中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6~2×10-6(V/V)。   4 總烴(以甲烷計)含量的測定
  按GB/T8984.3執行。
  儀器檢測限:0.1×10-6(V/V)。
  標樣:氬中含甲烷1×10-6~2×10-6(V/V)。 5 水分含量的測定
  按GB/T5832.1或GB/T5832.2執行,兩種方法具有同等效力。
  儀器檢測限:0.2×10-6(V/V),經相應檢定規程檢定合格。     (源自:中國流體機械網)

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